分光測定装置

Spectrometer

Abstract

【課題】迅速な分光測定が可能な分光測定装置を提供する。 【解決手段】分光測定装置1は、固定反射膜を有する固定基板、可動反射膜を有する可動基板、固定反射膜及び可動反射膜の間の反射膜間ギャップのギャップ量を変更する静電アクチュエーターを備えた波長可変干渉フィルター5と、波長可変干渉フィルター5により取り出された光の光強度を検出する検出部11と、静電アクチュエーターに対して連続的に変化するアナログ電圧を印加する電圧設定部21及び電圧制御部15と、静電アクチュエーターに印加された電圧を監視する電圧監視部22と、V−λデータを記憶する記憶部30と、電圧監視部22により監視される電圧に基づき、波長可変干渉フィルター5を透過する光が測定対象波長となるタイミングで、検出部11により検出される光強度を取得する光強度取得部24と、を具備した。 【選択図】図1
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spectrometer capable of performing quick spectroscopic measurement.SOLUTION: A spectrometer 1 comprises: a fixed substrate having a fixed reflection film; a movable substrate having a movable reflection film; a wavelength variable interference filter 5 provided with an electrostatic actuator for changing a gap amount of an inter-reflection film gap between the fixed reflection film and the movable reflection film; a detection section 11 for detecting light intensity of light taken out by the wavelength variable interference filter 5; a voltage setting section 21 and a voltage control section 15 for applying a continuously varying analog voltage to the electrostatic actuator; a voltage monitoring section 22 for monitoring the voltage applied to the electrostatic actuator; a storage section 30 for storing V-λ data therein; and a light intensity acquisition section 24 for acquiring the light intensity detected by the detection section 11 at timing when the light transmitted through the wavelength variable interference filter 5 has a measuring object wavelength on the basis of the voltage monitored by the monitoring section 22.

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Patent Citations (4)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2002071562-AMarch 08, 2002Yokogawa Electric Corp, 横河電機株式会社赤外分光測定装置
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    JP-H05248952-ASeptember 28, 1993Anritsu Corp, アンリツ株式会社光スペクトラムアナライザ
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NO-Patent Citations (1)

    Title
    JPN6016007425; 末村剛彦、外4名: '圧電アクチュエータを用いた小型アダプティブ波長可変光フィルタの応答高速化' 1994年電子情報通信学会秋季大会講演論文集 1994年秋季、第2分冊, 19940905, 第549頁(B-951)

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