Film thickness measurement method and film thickness measurement device

膜厚測定方法および膜厚測定装置

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a film thickness measurement method that can measure a thickness of a coated film with high accuracy and in a short time without preliminary measuring a refractive index.SOLUTION: The film thickness measurement method comprises the steps of: branching measurement light from a light source into reference light and incident light to a reference air layer bd having a predetermined thickness; causing reflection light from the reference air layer bd and the reference light to be interfered with each other, detecting a plurality of intensity signals generated by the interference and determining an optical distance BD corresponding to a thickness of the reference air layer bd from an interval between adjacent peaks to the intensity signal; mounting the coated film in the reference air layer bd, and defining a first air layer bc'; causing reflection light from the first air layer bc' and the reference light to be interfered with each other and detecting a plurality of intensity signals generated by the interference; determining an optical distance BC' corresponding to a thickness of the first air layer bc' from an interval between adjacent peaks to the intensity signal; and calculating a thickness c'd of the coated film from the optical distance BD of the reference air layer and the optical distance BC' of the first air layer.
【課題】屈折率を事前に測定すること無く、塗膜の膜厚を高精度かつ短時間で測定することができる膜厚測定方法を提供する。 【解決手段】光源からの測定光を、参照光と、所定の厚さを有する基準空気層bdへの入射光とに分岐するステップと、基準空気層bdからの反射光と参照光とを干渉せしめ、該干渉による複数の強度信号を検出し、当該強度信号の隣接するピーク間の間隔から、基準空気層bdの厚さに対応する光学距離BDを決定するステップと、基準空気層bd内に塗膜を載置し、第1の空気層bc’を画定するステップと、第1の空気層bc’からの反射光と参照光とを干渉せしめ、該干渉による複数の強度信号を検出し、当該強度信号の隣接するピーク間の間隔から、第1の空気層bc’の厚さに対応する光学距離BC’を決定するステップと、基準空気層の光学距離BDと、第1の空気層の光学距離BC’とから、塗膜の厚さc’dを計算するステップとを含む。 【選択図】図3

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